案，徐昀的氟化氙光源确实是最佳选择。

加上文件中的理论非常详细，真着手去制造的话用不了多长时间便能得到稳定的氟化氙光源，届时是否能满足光刻机要求，只需要测试出光源可以稳定发出的功率就行。

真要成功的话，国产极紫外光刻机便相当于攻克一项重大难题。

是突破性的进展。

关键距离新极紫外光刻机项目成立还没多久。

当然就算失败了也没关系。

权当积累经验。

他们两人的对话进行到这里，旁边研究员杨靖教授也终于回过神来，脸上浮现出溢于言表的笑容。

“这份方案太棒了，我敢肯定只要按照上面的去做肯定能制造出功率强大稳定的氟化氙光源。”

随着他的话音落下，其他几位研究员也像是被打开了话匣子纷纷开口表态。

“我暂时没发现有什么漏洞。”

“方案理论是可行的，我们应该立刻尝试实验。”

“院里邀请徐教授您来担任项目负责人简直是非常正确的决定，这才多长时间您就已经有了极紫外光刻机光源的解决方案。”

将几位研究员的话听进耳朵，徐昀脸上浮现出淡然笑容稍微谦虚了句。

“我之前对光源有过相关研究，这项方案说实话也没有百分百的把握。”

“别说百分百的把握，哪怕只有一点把握都值得我们去尝试。”罗长辉这时候情绪也平静了下来，接过话茬开口补充了句。

光电技术研究所很早就开始研发光刻机，奈何相比海外始终落后大截。

根本不具备制造高端芯片的能力。

其中对光源的研究更是有局限，很难提升光源的功率并且保证稳定输出。

丝毫不夸张的讲，若不是有徐昀加入项目组，就凭氟化氙光源都要让他们研究许久。