有那份设计方案作为依靠,这就相当于开卷考试。
他们进行的过程就是把答案抄在试卷上,基本不需要费太多精力。
加上还有徐昀亲自参与,几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。
并且为确定是否能用于高端光刻机,当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。
“虽然我觉得这次我们肯定能成功,但不知怎么心里还是有些紧张。”
2020年6月22日,锦城,光电技术研究所极紫外光刻机项目。
光源测试实验室外面,穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安,尽管表面上故作镇定,但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。
这段时间在参与了光源的制造后,他更加坚信徐昀方案的可行性。
认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。
可眼看最终的光源测试结果就要出来,心里多少还是有些忐忑。
相比坐不住的杨靖,罗长辉明显镇定许多,坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。
“把心态放平和,既然选择了相信徐教授,那就耐心等待结果。”
“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。
好歹他也是半截身子入土的研究员教授,遇到事情表现的还不如那些博士后,确实多少有些不太妥当。
不过话是那样说,但试问又有几个能真正做到波澜不惊。
俗话说见过了光明便再难接受黑暗,徐昀的光源方案让他们看到了希望,属于国产极紫外光刻机终于能交付使用的希望。
若最终测试出的结果无法达到要求,那么这些天的努力都将白费。
尽管科学研究本就不应惧怕失败,但对于项目成员肯定是个不小的打击。
杨靖没有再回应